Potència del microones
-
Potència del microones
La font d'alimentació de commutació de microones és un nou tipus de font d'alimentació de microones basada en la tecnologia d'inversor d'alta freqüència IGBT.Integra una font d'alimentació d'ànode d'alta tensió, una font d'alimentació de filament i una font d'alimentació de camp magnètic (excepte la font d'alimentació de microones de 3 kW).L'ona magnetró proporciona condicions de treball.Aquest producte s'utilitza en MPCVD, gravat amb plasma de microones, desgomat per plasma de microones i altres camps.