Font d'alimentació Sputtering de freqüència mitjana de la sèrie MSB

Descripció breu:

La font d'alimentació de RF de la sèrie RHH es basa en una tecnologia madura de generació de RF per oferir als clients una font d'alimentació de RF amb més potència, més precisió i resposta ràpida.Amb fase es pot configurar, control de pols, sintonització digital i altres funcions.Camps aplicables: indústria fotovoltaica, indústria de pantalla plana, indústria de semiconductors, indústria química, laboratori, investigació científica, fabricació, etc.

Processos aplicables: deposició de vapor químic millorat per plasma (PECVD), gravat per plasma, neteja de plasma, font d'ions de radiofreqüència, difusió de plasma, pols de polimerització de plasma, polsador reactiu, etc.

Detall del producte

Etiquetes de producte

Envieu-nos un correu electrònic

Característiques

● Estils de muntatge de mig maó i bastidor

● Adopte un control digital complet, amb un menú d'operacions còmode i ric

● Funcions de sintonització de freqüència, pols i sincronització de polsos

● Amb funció de sincronització de fases CEX

● Funció de protecció perfecta

Detall del producte

Entrada	Tensió d'entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (les especificacions especials es poden personalitzar)
Entrada	Freqüència d'entrada: 47~63Hz
Sortida	Freqüència de sortida: 13,56MHz、27,12MHz、40,68MHz
	Interval d'afinació: ±5%
	Potència de sortida: 1,5 ~ 5 kW
	Interval de regulació de potència de sortida: 1 ~ 100%
	Impedància de sortida: 50Ω+j0
	Interfície de sortida: tipus N
	Mode de sortida: continu, pols
	Freqüència de pols: 100Hz~100kHz
	Cicle de treball: 5 ~ 95%
Índex de rendiment	Factor de potència: 0,98
	Precisió d'estabilitat de freqüència: ± 0,005%
	Eficiència: 75% (a la sortida nominal)
	Harmònic: <-45 dBc
	Permanència: <-50 dBc
	Interfície de control extern: quantitat analògica, comunicació i sincronització
	Mode de comunicació: interfície de comunicació estàndard RS485;Opcional Ether CAT, Ethernet industrial, etc.
Nota: el producte continua innovant i el rendiment continua millorant.Aquesta descripció del paràmetre només és de referència.