Font d'alimentació per pulverització catòdica de freqüència mitjana de la sèrie MSB

Font d'alimentació per pulverització catòdica de freqüència mitjana sèrie MSB Imatge destacada

Descripció breu:

La font d'alimentació de RF de la sèrie RHH es basa en una tecnologia de generació de RF madura per proporcionar als clients una font d'alimentació de RF amb més potència, més precisió i resposta ràpida. Amb la possibilitat de configurar la fase, controlar els polsos, ajustar digitalment i altres funcions. Camps aplicables: indústria fotovoltaica, indústria de pantalles planes, indústria de semiconductors, indústria química, laboratori, recerca científica, fabricació, etc.

Processos aplicables: deposició química de vapor millorada per plasma (PECVD), gravat per plasma, neteja per plasma, font d'ions de radiofreqüència, difusió de plasma, polvorització per polimerització per plasma, polvorització reactiva, etc.

Detall del producte

Etiquetes de producte

Envia'ns un correu electrònic

Característiques

● Estils de muntatge de mig maó i en rack

● Adopta un control digital complet, amb un menú d'operació convenient i ric

● Funcions d'afinació de freqüència, polsos i sincronització d'impulsos

● Amb funció de sincronització de fase CEX

● Funció de protecció perfecta

Detall del producte

Entrada	Voltatge d'entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (es poden personalitzar les especificacions especials)
Entrada	Freqüència d'entrada: 47~63Hz
Sortida	Freqüència de sortida: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Rang d'afinació: ±5%
	Potència de sortida: 1,5 ~ 5 kW
	Rang de regulació de la potència de sortida: 1~100%
	Impedància de sortida: 50Ω+j0
	Interfície de sortida: tipus N
	Mode de sortida: continu, pols
	Freqüència de pols: 100Hz ~ 100kHz
	Cicle de treball: 5~95%
Índex de rendiment	Factor de potència: 0,98
	Precisió d'estabilitat de freqüència: ±0,005%
	Eficiència: 75% (a la potència nominal)
	Harmònic: <45dBc
	Perdició: <50dBc
	Interfície de control externa: quantitat analògica, comunicació i sincronització
	Mode de comunicació: Interfície de comunicació RS485 estàndard; Ether CAT opcional, Ethernet industrial, etc.
Nota: el producte continua innovant i el rendiment continua millorant. Aquesta descripció de paràmetres és només de referència.