Font d'alimentació RF
-
Font d'alimentació RF de la sèrie RLS
La font d'alimentació de RF de la sèrie RLS adopta l'amplificador de potència actual estable i fiable i el sistema de control de CC bàsic de l'empresa, de manera que el producte té un rendiment molt estable i una alta fiabilitat del producte.Adopteu una interfície de visualització en xinès i anglès, fàcil d'utilitzar.S'utilitza principalment en la indústria fotovoltaica, la indústria de la pantalla plana, la indústria de semiconductors, la indústria química, el laboratori, la investigació científica, la fabricació, etc.
-
RMA Series Matchers
Es pot adaptar a la font d'alimentació de RF de la sèrie RLS i s'utilitza àmpliament en gravat amb plasma, recobriment, neteja de plasma, desgomat per plasma i altres processos.Quan s'utilitza sol, es pot utilitzar juntament amb fonts d'alimentació de RF d'altres fabricants.
-
Font d'alimentació RF de la sèrie RHH
La font d'alimentació de RF de la sèrie RHH es basa en una tecnologia madura de generació de RF per oferir als clients una font d'alimentació de RF amb més potència, més precisió i resposta ràpida.Amb fase es pot configurar, control de pols, sintonització digital i altres funcions.Camps aplicables: indústria fotovoltaica, indústria de pantalla plana, indústria de semiconductors, indústria química, laboratori, investigació científica, fabricació, etc.
Processos aplicables: deposició de vapor químic millorat per plasma (PECVD), gravat per plasma, neteja de plasma, font d'ions de radiofreqüència, difusió de plasma, pols de polimerització de plasma, polsador reactiu, etc.