Font d'alimentació RF de la sèrie RHH
-
Font d'alimentació RF de la sèrie RHH
La font d'alimentació de RF de la sèrie RHH es basa en una tecnologia madura de generació de RF per oferir als clients una font d'alimentació de RF amb més potència, més precisió i resposta ràpida.Amb fase es pot configurar, control de pols, sintonització digital i altres funcions.Camps aplicables: indústria fotovoltaica, indústria de pantalla plana, indústria de semiconductors, indústria química, laboratori, investigació científica, fabricació, etc.
Processos aplicables: deposició de vapor químic millorat per plasma (PECVD), gravat per plasma, neteja de plasma, font d'ions de radiofreqüència, difusió de plasma, pols de polimerització de plasma, polsador reactiu, etc.