Font d'alimentació RF de la sèrie RHH
-
Font d'alimentació RF de la sèrie RHH
La font d'alimentació de RF de la sèrie RHH es basa en una tecnologia de generació de RF madura per proporcionar als clients una font d'alimentació de RF amb més potència, més precisió i resposta ràpida. Amb la possibilitat de configurar la fase, controlar els polsos, ajustar digitalment i altres funcions. Camps aplicables: indústria fotovoltaica, indústria de pantalles planes, indústria de semiconductors, indústria química, laboratori, recerca científica, fabricació, etc.
Processos aplicables: deposició química de vapor millorada per plasma (PECVD), gravat per plasma, neteja per plasma, font d'ions de radiofreqüència, difusió de plasma, polvorització per polimerització per plasma, polvorització reactiva, etc.